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2025年07月18日 18:55:18
中國(guó)科學(xué)家首創(chuàng)“蒸籠”方法“長(zhǎng)出”高性能晶體管新材料
財(cái)聯(lián)社7月18日電,集成電路是現(xiàn)代信息技術(shù)的核心基礎(chǔ)。近年來(lái),隨著硅基芯片性能逐步逼近物理極限,開(kāi)發(fā)新型高性能、低能耗半導(dǎo)體材料,成為全球科技研發(fā)熱點(diǎn)。其中,二維層狀半導(dǎo)體材料硒化銦因遷移率高、熱速度快等優(yōu)良性能,被視為有望打破硅基物理限制的新材料。由北京大學(xué)、中國(guó)人民大學(xué)科研人員組成的研究團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)四年攻關(guān),首創(chuàng)一種“蒸籠”新方法,首次在國(guó)際上成功實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量硒化銦材料的晶圓級(jí)集成制造,并研制出核心性能超越3納米硅基芯片的晶體管器件。該成果18日在線發(fā)表于《科學(xué)》雜志。
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